Das Röntgenmikroskop macht den Blick frei tief in das Innere von Halbleiterstrukturen oder biologischer Proben, wie das PSI schreibt. Dadurch könnten selbst winzige Mängel im Nanobereich entdeckt werden.

Die Analyse solcher Mängel werde einen Beitrag zur Verbesserung der Qualität von Halbleitern leisten, bei denen Strukturgrössen von unter hundert Nanometern zum Einsatz kommen. Die neue Technik werde aber auch einen Beitrag zur Lebenswissenschaft leisten. So könne etwa das Wachstum von Krebszellen bildlich dargestellt werden.

Entwickelt wurde das Röntgenmikroskop mit Superauflösung von einem Forschungsteam des PSI und der ETH Lausanne. Dafür musste ein spezielles Instrument im Wert von mehreren Millionen Franken an der Synchrotron Lichtquelle Schweiz gebaut werden.

(sda/buet)